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国内首款超大产能异质结专用PVD设备发布

2021-06-04 09:29:14 科技日报记者6月3日从中国电子科技集团有限公司获悉,该集团旗下电科装备成功发布国内首款超大产能异质结专用PVD(物理气相沉积)设备。

2021-07-19
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